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運行穩定的MOCVD加熱器

1138   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:05:34
本實用新型公開了一種運行穩定的MOCVD加熱器，所述上基板表面垂直穿設有多個連接傳導桿，各個連接傳導桿底端皆固定在下基板上，頂端皆安裝有傳導支架，所述傳導支架穿過隔熱板、且頂端支撐有加熱部件，所述隔熱板通過多個緊固組件與上基板和固定板固定在一起。本實用新型設計結構簡易，經實際生產檢驗相較于傳統的加熱器加熱效率提升了60％；隔熱板通過多個新型的緊固組件固定在加熱器上，避免了下隔離陶瓷環和上隔離陶瓷環意外受到大的預緊力出現裂痕，進一步避免了受熱時破裂失效，保證了設備的整體正常運行，延長了各部件的使用壽命，從而實現了連續生產，有效提升了晶元產品的良品率；隨著維護頻率的降低也降低了維護成本，減少了維護工作量。
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