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高分辨率微顯示器缺陷修復方法

1139   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:02:35
本發明公開了一種高分辨率微顯示器缺陷修復方法,所述方法具體包括如下步驟:S1、定義亮點的亮度閾值,定位微顯示器中的亮點坐標;S2、將亮點坐標導入聚焦粒子束設備,聚焦粒子束設備對亮點坐標對應的像素進行缺陷修復。本發明通過使用自動點屏和光學測試設備自動定位缺陷坐標,FIB設備根據缺陷坐標自動定位,FIB直接沉積遮擋層或者先切割再沉積保護層,從而實現缺陷的自動定位和自動修補,解決了激光修補精度差,不能修補微顯的問題,同時避免了激光修補熱效應導致的鄰近像素失效和封裝失效的問題。
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