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應用于掃描電子顯微鏡的樣品座

800   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:24
本實用新型涉及應用于掃描電子顯微鏡的樣品座，屬于半導體芯片制造行業的失效分析領域。該樣品座包括底座、設置于底座頂部的金屬平臺以及位于金屬平臺的工作面的彈性夾具，芯片樣品直接放置在金屬平臺的工作面，所述彈性夾具壓住芯片樣品、并將芯片樣品固定于金屬平臺的工作面。本實用新型避免了使用現有技術中的雙面導電膠，增加了導電性、改善了SEM圖像質量，避免了取樣時的破損，減少了污染，節約了成本。
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“應用于掃描電子顯微鏡的樣品座” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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失效分析
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