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平面TEM樣品的制作方法

884   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:24
本發明提供一種平面TEM樣品的制作方法，包括：提供TEM樣品，所述TEM樣品上具有目標區域；對所述TEM樣品進行平面研磨至金屬互連層；對所述TEM樣品進行截面研磨至TEM樣品的邊緣距離目標區域2-10微米；采用第一溶液去除金屬互連層中的金屬線，在所述金屬互連層從中形成孔洞；采用第二溶液去除所述孔洞下方的源漏摻雜區域；使用FIB方法對所述TEM樣品進行制作，形成平面TEM樣品，所述平面TEM樣品露出孔洞下方的源漏摻雜區域用于失效分析。本發明能夠解決平面TEM上無法觀察源漏摻雜區域的難題。
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聲明：
“平面TEM樣品的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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