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切片定位的方法

799   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:40
本發明提供一種切片定位的方法，將缺陷依據die劃分形成相對于整個晶圓die劃分的絕對die位置坐標；將缺陷依據該缺陷所在shot的位置形成相對于該shot的相對die位置坐標；將缺陷依據該缺陷所在die的位置形成相對于該die的相對數值位置坐標；選定與缺陷在同一die中的參考缺陷，建立包含缺陷和參考缺陷的虛擬區域，并計算缺陷相對于虛擬區域的相對數值位置坐標。本發明適用于晶圓失效分析切片定位，利用YE機臺掃描提供的坐標，建立虛擬die相對坐標體系，通過換算計算出缺陷相對位置，提供給失效分析用以精確定位，其具有避免晶圓污染，快速換算出缺陷相對位置利于失效分析切片，節約成本。
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聲明：
“切片定位的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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