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浮柵回刻的深度的測試方法

1207   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:34
本發明提供了一種浮柵回刻的深度的測試方法，包括：提供襯底；在所述襯底上分別形成第一隔離層和第二隔離層；在所述第一隔離層上形成浮柵多晶硅，刻蝕浮柵多晶硅形成浮柵，所述浮柵呈條狀結構；在所述浮柵和所述第二隔離層上形成ONO層；在所述ONO層上沉積控制柵多晶硅，刻蝕控制柵多晶硅形成控制柵，所述控制柵呈條狀結構，所述浮柵和所述控制柵形成叉指結構；使用如下公式計算浮柵回刻的深度；在本發明浮柵回刻的深度的測試方法中，利用叉指結構的數目、叉指結構的長度和ONO厚度就可以在不切片的情況下獲得浮柵的回刻深度，減少存儲單元失效的幾率，提高芯片的良率，并且與現有工藝兼容，無需開發新制程，不需要額外的掩膜版。
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聲明：
“浮柵回刻的深度的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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