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微機電系統機械組元可靠性評估的測試裝置及方法

857   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:19
一種微機電系統機械組元可靠性評估的測試裝置,包括:一光學測量單元,用于測量微機電系統機械組元的輪廓曲線,獲得被測微機電系統機械組元在失效前后的三維形貌信息或動態位移信息;一環境腔室,用于放置被測微機電系統機械組元,所述各種環境條件包括真空、氣壓、氣氛、溫度和濕度;一XY工作臺,環境腔室放置在XY工作臺上,可跟隨XY工作臺在水平面內移動,環境腔室的質量低于XY工作臺正常工作的載荷限制;一環境控制與測量單元,保證在環境腔室內實現所需的各種環境條件并測量相應的環境參數;一數據采集和控制單元,用于控制XY工作臺,并帶動環境腔室在水平面內移動;環境控制與測量單元,實現與測量各種環境條件。
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