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晶圓測試結果加嚴修正篩選方法

1038   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本發明一種晶圓測試結果加嚴修正篩選方法,使用Map工具軟件,定義邊緣失效芯片、連續失效芯片、孤立有效芯片的特征識別算法模型,并基于邊緣失效芯片、連續失效芯片、孤立有效芯片所在區域的圖形識別,可對該區域通過晶圓測試的有效芯片進行修正,從而將連續失效芯片區域邊界上的晶圓測試結果進行加嚴修正后轉置輸出,使得晶圓測試結果與工藝關聯,并將潛在失效芯片過濾,從而提高識別失效芯片的效率和芯片產品輸出的整體可靠性。
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