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微加速度計可靠性強化試驗測試方法

1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:18
本發明涉及MEMS類傳感器-微加速度計的測試方法,具體是一種微加速度計可靠性強化試驗測試方法。能夠了解微加速度計在溫度、振動和濕度綜合應力環境下的失效模式,方便產品研發,改善產品整體性能,步驟如下:1.微加速度計于溫度應力下的強化測試步驟;2.微加速度計于溫度、振動綜合應力下的強化測試步驟;3.微加速度計于溫度、振動、濕度綜合應力下的強化測試步驟。本發明兼顧溫度、振動和濕度三應力對微加速度計內部結構的影響。通過對微加速度計逐步施加溫度、振動和濕度三應力,了解與微加速度計功能失效前和失效時對應的三應力情況,以便解決微加速度計的缺陷,提高微加速度計的整體性能、可靠性,利于高可靠性微加速度計新產品開發。
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