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電遷移的測試結構

1065   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本實用新型公開了一種電遷移的測試結構，包括：待測試的金屬線；兩個電源端，是從所述金屬線兩端各連出的一個焊墊，連接直流電流提供設備；多個測量端，所述金屬線被均勻劃分為多段，每個金屬線分段的兩端都各連出一個焊墊作為測量端，每個金屬線分段兩端的測量端連接電阻測量設備。本實用新型電遷移的測試結構可以不通過光學顯微鏡而迅速地確認電遷移失效點位置，精確到某一個金屬線分段。從而為后續的FIB分析縮小了“斷面精細切割”尋找失效點的范圍和時間，提高了失效分析的效率和成功率。
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