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基于EMMI的化合物半導體器件直流測試系統

942   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:11
本發明公開了基于EMMI的化合物半導體器件直流測試系統，包括測試夾具、源極直流電源、柵極直流電源、漏極直流電源和EMMI平臺；化合物半導體器件裝配在測試夾具中，EMMI平臺采集化合物半導體器件在不加電情況下的背景噪聲信號；然后采用源極、柵極和漏極直流電源通過測試夾具使得化合物半導體器件處于不同工作狀態，同時EMMI平臺采集化合物半導體器件的光信號，并扣除背景噪聲信號，生成化合物半導體器件在工作狀態下的EMMI分析圖，并分析化合物半導體器件是否失效，根據EMMI分析圖對失效的化合物半導體器件失效部位定位。本發明創新性的將器件的直流工作狀態與電致發光原理相結合，實現化合物半導體器件的測試。
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