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薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法

1258   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:08
本發明公開了一種薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法，S1：在玻璃基板上制備TFT驅動器，在制備TFT驅動器時，玻璃基板邊緣中的襯底層與TFT驅動器中的SiNx層在同一層，即在制備TFT驅動器時，沉積在玻璃基板邊緣的SiNx層形成襯底層，再在TFT驅動器制備像素定義層，像素定義層經過曝光顯影蝕刻脫膜形成圖案，然后再在像素定義層的開口處濺射一層陽極；S2：在步驟S1的基礎上制備OLED發光器件，然后再在OLED發光器件上制備陰極，其中陰極包含Mg陰極和Ag陰極；S3：在步驟S2的基礎之上沉積薄膜封裝層。本發明可以高效和快速地檢測出薄膜封裝的OLED顯示器是否失效，以及水氧侵蝕的程度，為后續維修和使用提供一個方向，并且在器件的開發方面具有重要意義。
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