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集成電路芯片失效分析樣品的制備方法

1129   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:30
本發明涉及一種集成電路芯片失效分析樣品的制備方法，包括下列步驟：在集成電路芯片樣品上涂抹封裝膠，使封裝膠覆蓋需要進行失效分析的部位；對涂好封裝膠的樣品進行加熱固化；將固化后的樣品拋光至所述需要進行失效分析的部位。本發明通過固化的封裝膠對需要進行失效分析的部位進行加固，避免其在拋光過程中受力變形，從而能夠保留原始形貌。制備過程不需要使用昂貴的設備，制備條件很容易被滿足。
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聲明：
“集成電路芯片失效分析樣品的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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