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電性失效分析方法

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種電性失效分析方法，利用存儲單元的電流拼圖進行一種直觀性，準確性和高效性的電性分析測試，電流高低不同的存儲單元會以深淺不一的顏色顯示出來，而不是像比特拼圖只能表示存儲單元是處于‘0’還是‘1’狀態，可以清楚地知道失效地址是硬失效還是邊緣失效，因此發現一些比特拼圖不能發現電性失效圖案對應的物理位置，給后續物理失效分析指明確切的分析方向，從而提高分析效率和失效案例的命中率。
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