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電性失效分析的測試方法及裝置

873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明提供了一種電性失效分析的測試方法，包括：提供電性失效分析中各測試項的測試項函數；根據電性失效分析的測試需求，確定電性失效分析的測試項，基于測試項形成測試項關聯數據，測試項關聯數據與對應的測試項函數關聯；提供對應測試需求的測試文件，測試文件包括關聯于測試項的測試項關聯數據及對應的測試參數；運行測試文件，獲取測試結果；根據測試結果和測試需求，在需修改測試文件時，調整所述測試參數。本發明還提供了一種電性失效分析的測試裝置。本發明提供的技術方案無需了解測試程序即可修改測試參數并且無需反復加載和編譯測試程序即可靈活改變測試流。
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