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用于微機電系統監測的光纖探針

1249   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:39
本發明提供的是一種用于微機電系統監測的光纖探針。其特征是:它由單模光纖1,大芯徑漸變折射率光纖2,二元菲涅爾透鏡3,待測物4,位移臺5,光源6,三端口環形器7,光功率計8,計算機9組成。本發明可用于微機電系統的便攜、非接觸式無損監測,可廣泛用于光纖傳感等領域。
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“用于微機電系統監測的光纖探針” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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