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用于原位測量MEMS微梁的厚度的方法及裝置

913   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明涉及用于原位測量MEMS微梁的厚度的方法。提供了一種用于原位測量MEMS微梁的厚度的方法,該方法包括:獲取MEMS微梁的結構參數;獲取MEMS微梁的吸合電壓、固有頻率和振型函數;根據MEMS微梁的結構參數、吸合電壓、固有頻率和振型函數,確定MEMS微梁的厚度。MEMS微梁的結構參數包括MEMS微梁的長度、寬度和高度,高度為MEMS微梁的上表面與位于MEMS微梁下方的底部電極的上表面之間的距離。上述用于原位測量MEMS微梁的厚度的方法,由于根據MEMS微梁的結構參數、吸合電壓、固有頻率和振型函數,確定所述MEMS微梁的厚度,因此能夠實現微梁厚度的高精度無損在線測量,這對快速準確地評價MEMS器件的性能至關重要。
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