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測量非透明薄膜厚度分布的雙面干涉裝置和方法

937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:38
本發明提供了一種測量非透明薄膜厚度分布的雙面干涉裝置和方法，所述方法設置了兩個物光對向、共軸的白光干涉光路，位移臺帶動厚度標樣或薄膜樣品沿物光光軸方向步進運動，同時，兩個面陣探測器采集厚度標樣或薄膜樣品表面的形貌信息，通過厚度標樣標定兩個干涉物鏡的干涉焦面間的距離，進而計算薄膜樣品厚度分布，應用本方法制成的測量裝置，無需輔助夾具，可實現非透明薄膜厚度分布的快速、無損和精確測量。
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“測量非透明薄膜厚度分布的雙面干涉裝置和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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