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小型簡易光學間距非接觸低相干測量裝置

1139   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:33
本發明公開了一種小型簡易光學間距非接觸低相干測量裝置，其特征在于，包括箱體、計算機、測量臂以及設置在所述箱體內部的光纖干涉探測盒、掃頻光源、指示光源和參考臂；所述光纖干涉探測盒內設置有光纖耦合器、環形器、波分復用器和平衡探測器；所述參考臂包括第一準直器、反射鏡以及用于安裝所述反射鏡且可對所述反射鏡的位置進行調節的反射鏡安裝座，所述測量臂包括第二準直器和待測樣品；本發明可用于小型光學表面間距非接觸測量，具有結構簡單緊湊、易于調整組裝、便于移動、測量無損傷等優點；本發明通過反射鏡安裝座，能實現反射鏡的位置的方便調節，以保證從反射鏡返回的光線能再次進入第一準直器，方便裝置的光路調節。
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“小型簡易光學間距非接觸低相干測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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