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3D化合物半導體芯片的檢測方法

812   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:15
本發明公開了一種3D化合物半導體芯片的檢測方法，涉及3D化合物半導體芯片結構檢測技術領域。微波檢測方法，包括一個檢測臺所述檢測臺中部開設有一條兩端貫通的滑槽，滑槽兩側內壁均固定連接有直角側板，兩個直角側板之間轉動連接有一排滾軸，芯片裝載底板通過機械臂放置于滾軸表面。本發明通過檢測臺、檢測箱和檢測箱內部結構的設置，其具有不與芯片接觸，不破壞芯片、無污染和非金屬應有的特點，與被檢測的芯片不需要直接的接觸，能夠距離芯片一定的距離或間隙進行檢測，不會破壞芯片本身機構，屬于無損檢測，并在在這個檢測的過程中，不需要對芯片通電，不需要耦合劑，避免耦合劑對芯片造成的污染。
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“3D化合物半導體芯片的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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