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材料缺陷檢測設備以及材料缺陷檢測方法

1088   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
本發明公開了一種材料缺陷檢測設備以及材料缺陷檢測方法,包括:平面陣列傳感器、控制電路和結果輸出模塊,其中:平面陣列傳感器,包括:多個檢測電極、端部屏蔽電極、極間屏蔽電極、傳感器基板、信號線和基板背面屏蔽層,其中:控制電路與多個檢測電極相連,用于控制對多個檢測電極的電壓激勵;多個檢測電極以陣列方式排列在傳感器基板的上方,傳感器基板的背面覆蓋有基板背面屏蔽層,以及分布有信號線;信號線與多個檢測電極相連,且與結果輸出模塊相連,用于將檢測信號傳輸給結果輸出模塊;結果輸出模塊用于根據檢測信號輸出對應的檢測結果。采用本發明方案,實現了對材料內部的無損檢測。
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