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光學玻璃拋光亞表面損傷無損檢測方法

912   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:42
本發明公開了一種光學玻璃拋光亞表面損傷無損檢測方法：先制備無損基底，再確定橢偏檢測入射角；將無損基底定義為襯底-環境結構，使用標準電介質函數作為其材料物理模型，根據橢偏檢測入射角下測得的橢偏參數，計算出無損基底的光學常數；將試樣的亞表面損傷層定義為包括空氣、表面粗糙層、再沉積層和襯底的多層膜光學模型；在多層膜光學模型基礎上采用混合材料有效介質模型建立多層膜材料物理模型，測量試樣的表面粗糙度、表面沉積物質沿深度分布規律，并使用無損基底光學常數；最后根據橢偏檢測入射角下測得的試樣橢偏參數，利用回歸算法進行反演運算，獲得亞表面損傷層的深度值。本發明的檢測方法準確可靠，快速高效，且靈活可控。
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