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III族氮化物襯底

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:04
本實用新型提供了一種III族氮化物襯底。所提供的襯底的III族元素面至少存在一個橫截面為V型的溝槽，所述溝槽的深度范圍是0.3nm-50nm，寬度范圍是10nm-500nm。本實用新型的優點在于，只去除晶格損傷而不特別在意是否去除劃痕，測試結果表明，與現有技術中采用無劃痕襯底相比，所獲得的外延層質量相同。因此，本實用新型摒棄了外延襯底一定要無劃痕的技術偏見，提供了有劃痕的襯底用于外延生長，節省了化學機械拋光帶來的工藝成本。
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“III族氮化物襯底” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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