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基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器

862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:04
本發明涉及基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器。該加速度傳感器包括表面等離子體共振折射率傳感器和氣體膜盒。利用氣體膜盒作為第一級加速度敏感元件，將輸入的加速度變化轉化為新型氣體膜盒內傳感氣體的折射率變化，通過表面等離子體共振折射率傳感器測量出折射率的變化，該折射率變化與輸入加速度的大小成正比。本發明將在生物、化學傳感領域廣泛應用的SPR傳感技術與新型氣體膜盒相結合，應用于加速度傳感中，具有靈敏度高、結構簡單等特點。
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“基于表面等離子體共振的光學加速度傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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