本發明涉及一種脈沖激光沉積制備Co3O4薄膜電極材料的方法及其應用。在約30Pa的氧氣氣氛中利用脈沖激光燒蝕純度大于等于99.9%金屬鈷靶材,在Mo基片上濺射沉積制備Co3O4薄膜電極材料,基片溫度為250℃。此法制得的Co3O4薄膜電化學性能測試結果表明此電極材料具有良好的倍率特性和循環性能,可用于超級電容器電極材料,具有較好的應用前景。
聲明:
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