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半導體氮化碳薄膜的制備方法

1038   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:03
本發明涉及一種半導體氮化碳薄膜的制備及轉移方法，以三聚氰胺作為前驅體，通過化學氣相沉積工藝，在多種基底材料表面制備半導體氮化碳薄膜或氮化碳/碳復合薄膜，其制備工藝簡單，原料成本低，制備的氮化碳薄膜容易轉移到任意基底材料表面；所制備的薄膜連續性好，厚度均勻，在光電探測器中顯示出極快的響應速度，在電催化析氫反應中顯示出較高催化活性；此外，這種氮化碳薄膜可用于構建柔性半導體器件(如發光二極管，太陽能電池)，儲能器件(如鋰離子電池，鈉離子電池，燃料電池)和催化電極等。
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