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薄膜晶體管及其制備方法和顯示裝置

1503   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:56
本發明公開了一種薄膜晶體管及其制備方法和顯示裝置，其中薄膜晶體管包括襯底、柵電極層、柵介質層、溝道層、源電極層和漏電極層。其中，溝道層為鋅錫氮薄膜；鋅錫氮薄膜的化學式為：ZnxSnyNz；x為鋅錫氮薄膜中鋅元素的原子含量，y為鋅錫氮薄膜中錫元素的原子含量，z為鋅錫氮薄膜中氮元素的原子含量。其通過采用鋅錫氮薄膜作為溝道層的薄膜晶體管除了可應用于平板顯示，同時還可應用于光發射和寬光譜光電探測領域等。最終有效解決了傳統的薄膜晶體管的應用較為單一，應用范圍具有一定的局限性的問題。
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