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納米羰基金屬復合超滑含氫碳薄膜的制備方法

1175   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:51
本發明涉及一種納米羰基金屬復合超滑含氫碳薄膜的制備方法，是在金屬基底上通過磁控濺射沉積技術和空心陰極等離子化學氣相沉積技術沉積制備含氫量為20?24%的含氫碳薄膜，然后通過自組裝的方式在含氫碳薄膜上生長納米羰基金屬顆粒獲得。由于羰基金屬其羰基的高活性，在摩擦過程中，含氫非晶碳環狀網絡在納米羰基金屬的催化下轉變為石墨烯，而石墨烯的多層結構有利于碳膜的超滑性能。摩擦性能測試結果表明，在干燥的大氣環境及惰性氣氛下，本發明制備的復合納米羰基金屬含氫碳膜的摩擦系數均在0.003~0.006范圍內，遠低于傳統的0.01數量級，完全實現了在宏觀尺度大氣等環境下的超滑性能，對超滑技術的工程應用意義重大。
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