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薄膜熱電堆型熱流傳感器

935   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:36
本發明公開了一種薄膜熱電堆型熱流傳感器，銅薄膜層與康銅薄膜層搭接形成熱電堆的節點，節點的一側設置有二氧化硅熱阻層，銅薄膜層與康銅薄膜層通過側壁延伸至棒底端并引出，銅薄膜層康銅薄膜層通過磁控濺射制備并掩模形成熱電堆陣列，二氧化硅熱阻層通過溶膠凝膠法在圓柱形棒前端面進行制備，能夠實現變溫流場環境下的瞬時熱流測量，制備封裝方法簡單，便于安裝使用，且成本較低，可應用于液壓系統、化學反應釜等多場景測熱流。
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“薄膜熱電堆型熱流傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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