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磷化銦晶片的表面處理方法

1038   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:20:20
本發明提供了一種磷化銦晶片的表面處理方法，包括以下步驟：a)將拋光、化蠟后的磷化銦晶片采用混合藥液進行過藥處理，得到處理后晶片；所述混合藥液由氧化劑溶液、酸溶液和水配制而成；b)將步驟a)得到的處理后晶片依次經沖水、甩干，得到清洗檢驗前的磷化銦晶片。與現有技術相比，本發明提供的磷化銦晶片的表面處理方法是出現在磷化銦晶片清洗檢驗前的一個重要工藝，該表面處理方法操作簡便、效率高；處理后的晶片表面粗糙度會更好，產品良率更高；并且所使用的混合藥液中各成分均為常見無機化學品，成本低；因此本發明提供的磷化銦晶片的表面處理方法具有廣闊的應用前景。
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“磷化銦晶片的表面處理方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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