本發明公開了一種具有自極化效應的鈮鎂酸鉛-鈦酸鉛鐵電薄膜材料的制備方法,該方法是采用化學溶液沉積法:溶液由醋酸鉛、醋酸鎂、乙醇鈮、正丁醇鈦、乙二醇甲醚和乙酰丙酮組成,配制成0.1-0.3M的前驅體溶液;采用旋轉鍍膜方式得到凝膠膜,然后在快速退火中分段進行熱處理,形成薄膜材料;重復該過程,直至得到理想厚度的薄膜材料。本發明的優點是:整個工藝過程操作簡便、成本較低、可制備大面積均勻薄膜。采用本發明方法在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si基片上得到的薄膜,經測量不施加偏場時的熱釋電系數可達1.6×10-8Ccm-2K-1。
聲明:
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