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用于SECCM高分辨成像的探針單元和控制方法

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:17:28
本發明屬于電化學技術領域，公開了一種用于SECCM高分辨成像的探針單元和控制方法，探針單元包括單通道的探針，探針的開孔直徑為50?100nm；探針由控制模塊對其液滴針尖進行控制；控制模塊用于進行如下控制方法：在進針過程增設最小化的進針電壓校正，在進針過程增設最小化的進針速度校正，在電化學測試過程增設最小化的測試電壓校正，以及在抬針過程增設最小化的抬起高度校正。本發明極大的提高了成像過程中的穩定性，為實現高分辨的成像提供了更大的可能性；并且不需要添加額外的硬件設備，避免儀器設備成本的過高增加。測試表明，本發明能夠成功得到40?50nm尺寸樣品的高分辨形貌圖像，已達到國際領先水平。
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“用于SECCM高分辨成像的探針單元和控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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