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氮化鋁陶瓷基板表面粗化方法

1192   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:14:38
本發明公開一種氮化鋁陶瓷基板表面粗化方法,包括如下步驟:步驟一,通過除油劑和純水去除氮化鋁陶瓷基板表面的油污和雜質,測試氮化鋁陶瓷基板的表面粗糙度,依據表面粗糙度的測試結果確定后續化學粗化程度;步驟二,將經步驟一處理過的氮化鋁陶瓷基板浸沒于15%?25%質量分數的NaOH溶液中;步驟三,將步驟二處理過的氮化鋁陶瓷基板放置于1%?3%質量分數的稀H2SO4溶液中,處理5s?10s,溫度控制在15℃?25℃;步驟四,將步驟三處理過的氮化鋁陶瓷基板加壓水洗,常溫,時間為3min;步驟五,將步驟四處理過的氮化鋁陶瓷基板烘干。有效解決現有AMB真空釬焊氮化鋁陶瓷基板與焊料層結合不良的技術問題。
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