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具有高時間分辨的電子顯微鏡

965   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:14:38
本發明涉及一種具有高時間分辨的電子顯微鏡,該顯微鏡包括超短脈沖激光器、真空靶室、光聚焦元件、靶部件、電子光闌或電子束能譜控制部件、試樣支撐調節部件、圖像接收部件;在真空靶室內或外設有激光器,激光器產生的脈沖經光聚焦元件聚焦后,與真空靶室內的靶相互作用,產生高能電子束脈沖,經電子光闌或電子束能譜控制部件調制后,與試樣支撐調節部件內的待測樣品相互作用產生測試圖像,由圖像接收部件接收;本發明將激光等離子體的超快時間分辨能力引入電鏡技術,在傳統電鏡高空間分辨率的基礎上,建造具有超快時間特征的高時間分辨率電鏡,其電子束能量高,通用性強,可滿足材料、生物、化學及物理等各方面的科研、開發要求。
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