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用于研磨基材的研磨系統以及操作研磨系統的方法

939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:37
本揭露的一實施方式描述一種用于研磨基材的研磨系統以及操作研磨系統的方法，即用于化學機械研磨制程的裝置與方法，其將使用過的漿料回收做為其他漿料供給。裝置包含旋轉平臺上的墊體；第一供料器及第二供料器，其中每一個第一供料器與第二供料器可流體連接各別的流量調節器，且配置以施加各自的第一漿料與第二漿料至墊體上；配置以提供回收漿料的浮除模組；以及配置以偵測與研磨基材相關聯的研磨特征的偵測模組。浮除模組可包含配置以接收從墊體噴灑的流體、以及配置以儲存包含可與流體化學鍵的起泡劑以及收集劑的化學品。
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