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外延爐尾氣凈化器

769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:38
本發明涉及一種廢氣處理裝置,特別是涉及一種對EPI、PLOY或PECVD化學氣相沉積工藝尾氣進行凈化處理的外延爐尾氣凈化器,它具有初次洗滌室、二次洗滌室和填料室,初次洗滌室內裝有大流量噴嘴噴淋裝置,二次洗滌室內裝有多個細霧高速噴嘴噴淋裝置,殼體頂端裝有進氣口,進氣口通過進氣管道通入初次洗滌室下部,填料室頂端裝有排泄錐噴嘴噴淋裝置和排氣口,排泄錐噴嘴噴淋裝置下方裝有圓錐形管口。本發明結構緊湊、制作成本低、設備能耗低、運行成本低,廢氣凈化效率高,廢氣處理效果好,設備檢修方便,維護停機時間短,設備正常運行時間長,工藝穩定性好,安全可靠。
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“外延爐尾氣凈化器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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