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鋨膜電阻線原子氧傳感器芯片的制造方法

879   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:37
鋨膜電阻線原子氧傳感器芯片的制造方法,它涉及鋨膜電阻線構成的電阻型原子氧傳感器芯片的制造方法。本發明解決了現有工藝制備鋨膜存在容易開裂、原子氧測量的準確性差的問題。本發明方法如下:一、用物理氣相沉積法在基片上依次沉積鉻膜和金膜;二、然后在金膜表面上電鍍鋨膜;三、在鋨膜表面形成線形的光刻膠圖案;四、然后用電化學陽極溶解法刻蝕鋨膜;五、再用濕化學法刻蝕金膜,經去膠后即在基片表面形成鋨膜電阻線。本發明制得芯片的鋨膜電阻線表面光滑平整,無微裂紋和針孔,線寬小,厚度大,因此該原子氧傳感器芯片的初始電阻較高,測量精度良好,原子氧反應率線性度高,可連續在線長期穩定工作。本發明的方法工藝簡單、操作方便。
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