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金屬和晶體氣密性封裝的光窗結構制造方法

869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:13:37
本發明公開了一種金屬和晶體氣密性封裝的光窗結構制造方法,其制造方法包括:(1)具有腔體的金屬成型件:除油清洗、鍍鎳、烘干；(2)晶體鏡片局部處理：掩膜、化學法腐蝕粗化、粗化部位極化、化學鍍鎳、電鍍錫、烘干、切割分片；(3)夾具：按照零件尺寸精度加工夾具；(4)封接：將金屬成型件和晶體鏡片放置在夾具上，在燒結爐中250?300攝氏度烘烤15?20分鐘形成成品。(5)測試：測試成品的結合強度、氣密性。本發明采用了將晶體鏡片局部掩膜、腐蝕粗化、電鍍的方法形成金屬過渡層，然后通過低溫錫焊的方法，將晶體光窗和金屬成型件之管帽或腔體熔焊的方法來達到氣密性封接。從而有效避免了因材料膨脹系數匹配問題帶來的諸多技術難點。
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“金屬和晶體氣密性封裝的光窗結構制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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