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氣體混合系統及混合方法

1231   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:57:09
本發明的一種氣體混合系統及混合方法涉及一種混合多種單組分氣體的裝置和方法，目的是為了克服現有化學氣體混合裝置存在較復雜，設備較龐大，便攜性較差的問題，包括集成閥島、中間腔、第一氣泵、氣路控制模塊、中間腔氣壓采集模塊、中間腔溫度采集模塊、計算控制模塊和反應腔；能夠基于理想氣體方程和氣壓傳感器技術，通過檢測裝置內的氣壓變化，測得氣體通過的體積，并控制混合氣體的混合比達到要求，可輸出不同氣量和混合比的氣體以及定量排出氣體。
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