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全碳微傳感器及其制備方法

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:55:19
本發明公開一種微傳感器及其制備方法。該微傳感器的結構為:襯底為表面帶氧化層的硅片,在襯底上設置有二個碳MEMS電極,在二個碳MEMS電極之間的距離為1～10ΜM,碳MEMS電極的厚度為1～100ΜM;碳納米管架設于二個碳MEMS電極之間,碳納米管的直徑為10～30NM。其制備方法是在襯底上利用光刻膠經熱處理碳化制作碳MEMS電極,在碳MEMS電極利用介電電泳和退火處理將碳納米管定位在碳MEMS電極之間。本發明克服了傳統電極的傳感器受襯底影響大、不能探測空間位置的缺點,并具有良好的高密度集成的潛力,在生物化學醫藥環境檢測和監控特別是微流體測量中具有廣泛的應用前景。
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