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具有多層涂層的微流體裝置

1061   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:45:50
本發明提供了微流體裝置，其由材料層和在該材料層之中或其上形成的具有至少一個小于500μm的特征尺寸的流體輸送部件組成，所述材料層主要在耐化學性、熱穩定性和生物相容性上有改善。耐化學性、熱穩定性和生物相容性多層涂層提供在微流體裝置上并與之接觸，其中所述多層涂層包含主要由氧化鉿或氧化鋯構成的一個或多個薄膜層和主要由氧化鉭構成的一個或多個薄膜層，所述多層涂層位于流體輸送部件的表面上。本發明中使用的耐腐蝕性膜是特別有利的，因為其能夠使用產生覆蓋復雜幾何結構的共形膜的原子層沉積膜形成法在微流體裝置的流體輸送部件的表面上形成，從而使耐腐蝕性膜能夠在與反應物、分析物、油墨或在微流體裝置中使用的其他流體接觸的微流體裝置的流體輸送部件的所有表面上形成。
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