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微流控芯片中被動微混合器和微反應器的制作方法

867   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:29
一種微流控芯片中被動微混合器和微反應器的制作方法,首先進行底面和側面均帶有亞微結構的玻璃母模芯片的制作,利用玻璃母板芯片制備三面或全通道均具有亞微結構的全玻璃芯片或全玻璃混合芯片,或通過澆注聚合物翻模得到與玻璃母板微結構互補的陽模,利用該陽模再次澆注復制得到具有玻璃母板結構的聚合物基材的芯片,進而通過封合制得全聚合物混合芯片或復合芯片。本發明方法可以用玻璃為基礎材料,基材成本低,機械強度高,光學透明,對制作環境無特殊要求,只需一次曝光和一次刻蝕,形成的混合通道中的亞微結構具有一定的流線型,在微流控分析芯片及微流動化學反應器工程中有廣泛的應用潛力。
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