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光纖傳感器件及其制造和操作方法

724   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:32:30
按照一個實施例，本發明提供一種多參數光纖傳 感系統(10)，它具有非周期性藍寶石光纖光柵(16)作為傳感元件 (14)，用于同時檢測溫度、應變、 NOX、CO、 O2和 H2。示范傳感系統(10)包括非周 期性光纖光柵(16)，為這種多功能感測和確定進行交替折射率 調制。這種準周期性光柵結構(16)的制造可用逐點UV激光器 刻制、金剛石鋸顯微機械加工及基于相位掩模涂敷和化學蝕刻 方法。在示范實施例中，對多參數的同時檢測可分布在但不限 于燃氣/蒸汽渦輪機排氣中、燃燒室和壓縮機中以及燃煤鍋爐中 等。有利地，利用藍寶石非周期性光柵(16)測繪多個參數例如 溫度、應變和氣體改進了這種系統的控制和優化，目的是提高 效率和輸出并減少排放。
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