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潔凈室腐蝕性氣體來源確定方法

816   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:31:49
本發明公開了一種潔凈室腐蝕性氣體來源確定方法，包括如下步驟：（1）提供一潔凈室；（2）監測每個所述檢測機構的腐蝕試片的電性能參數確定受害區；（3）采集腐蝕試片并辨識出腐蝕性氣體包含的化學物質；（4）采集潔凈室周圍的環境空氣并辨識出環境空氣包含的化學物質；（5）確定各個機臺使用的化學物質和各個工藝使用的化學物質及其衍生物；（6）確定腐蝕性氣體的可疑來源；（7）通過計算流體動力學模型模擬各個可疑來源釋放的化學物質的流動；（8）確定為腐蝕性氣體的來源。本發明的潔凈室腐蝕性氣體來源確定方法，不但能夠檢測受害區，而且可以確定腐蝕性氣體來源，對潔凈室的污染問題達到標準兼職的目的。
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聲明：
“潔凈室腐蝕性氣體來源確定方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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