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晶圓斷鍵強度的檢測方法

940   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:27
一種晶圓斷鍵強度的檢測方法，檢測方法包括：提供第一晶圓；對所述第一晶圓表面進行斷鍵處理，使所述第一晶圓表面具有第一基團；在第一晶圓表面加入捕捉劑，使第一晶圓表面的第一基團和捕捉劑反應形成反應產物；對所述反應產物進行檢測，得到所述反應產物的化學發射強度；根據所述化學發射強度，獲取反應產物內的第一基團濃度。所述檢測方法，操作簡單，靈敏度較高，能夠較快得到第一晶圓表面斷鍵的強度情況。
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