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用于檢測氣體的傳感器及其制作方法

939   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:26
本發明涉及用于檢測氣體的傳感器及制作方法。它包括:襯底、在襯底的一面上有一層金剛石膜/納米金剛石膜;在其上的兩邊各設置一條形金屬電極,測量引線連接在其上;在襯底的另一面制作一金屬加熱電阻,加熱電阻的測量引線連接在加熱電阻兩端的。該制作方法包括首先制作加熱電阻;在金屬加熱電阻的兩端用壓焊測量引線;在襯底材料的另一面的金剛石膜是采用熱燈絲化學氣相沉積方法制備的,含有微米/亞微米晶粒的金剛石膜是在傳統的研磨或偏壓成核的襯底上,利用甲烷和氫氣在高溫下反應而合成的;再將測量引線分別連接在每一條形金屬電極上。該傳感器具有高選擇性,高靈敏度,快速的響應與恢復的良好的一致性,及耐高溫和抗輻射;同時具有工藝簡單。
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