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化學機械平坦化漿料及其形成方法

1172   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:08:35
一種CMP漿料，所述CMP漿料包括：載體；在所述載體內的微粒材料，其包括氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、金剛石或其任何組合；氧化劑，其包括選自過氧化物、過硫酸鹽、高錳酸鹽、高碘酸鹽、高氯酸鹽、次氯酸鹽、碘酸鹽、過氧單硫酸鹽、硝酸鈰銨、高碘酸、鐵氰化物或其任何組合的組的至少一種材料；并且根據標準化拋光測試，材料去除率指數(MRR)為至少500納米/小時且平均粗糙度指數(Ra)不大于5埃。
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