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用于拋光球頭工件的化學機械研拋機及設置方法

1031   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:03:21
本發明公開了一種用于拋光球頭工件的化學機械研拋機及設置方法，采用研拋模具模塊的自轉運動和擺動運動的復合運動為待拋光的球頭工件表面提供全方位的拋光，可以通過設置自轉速度與擺動速度的比值得到最佳的拋光效果，研拋模具模塊是為了研拋不同直徑尺寸的球頭工件的結構，通過對球頭工件進行載荷的施加，利用扭矩數據采集模塊是將研拋過程中的扭矩通過扭矩傳感器以電壓信號的方式被采集，以實現對拋光過程的監測，通過設置自轉速度和擺動速度的比值，最終得到的轉動速度和擺動速度的比值應用于拋光過程，能夠實現對球頭工件的均勻、準確且高效的拋光，其效果較佳。
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聲明：
“用于拋光球頭工件的化學機械研拋機及設置方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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