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用于化學氣相沉積的可控制備裝置

968   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:28
本實用新型公開了一種用于化學氣相沉積的可控制備裝置，包括連接底座、固定渦殼、連接法蘭和驅動電機，所述連接底座頂部安裝有固定渦殼，且固定渦殼位于連接底座頂部一側，所述固定渦殼一側設有連接法蘭，所述連接底座頂部安裝有驅動電機，且驅動電機位于連接底座頂部另一側，所述驅動電機的旋轉端上安裝有驅動軸，且驅動軸貫穿連接法蘭伸進固定渦殼內。本實用新型的有益效果是，方便對連接葉輪進行安裝與拆卸，方便對連接葉輪檢修與更換，提高了工作效率，采用全包圍螺母，提高了驅動軸的密封性，可以防止驅動軸的位置處聚集污垢，防止出現不能拆卸的現象，提高了防水密封性能，提高了工作效率，防止造成水資源浪費，通過注水口方便向固定渦殼內注水。
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聲明：
“用于化學氣相沉積的可控制備裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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