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化學機械基板研磨裝置

1115   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:15
公開一種化學機械基板研磨裝置，其可以用互不相同的溫度對多個研磨平板進行控制?；瘜W機械基板研磨裝置包括：多個研磨平板，其包括研磨墊，所述研磨墊用于基板的研磨；多個基板載體，其設置于所述各個研磨平板，并且以與所述各個研磨墊相接觸的形式抓握所述基板；多個調節器，其設置于所述各個研磨平板上部，并對所述各個研磨墊進行微切削；多個溫度測量部，其對所述各個研磨墊的溫度進行測量；溫度調節部，其對所述各個研磨墊的溫度進行調節；以及控制部，其將設置于所述多個研磨平板的研磨墊的溫度控制為互不相同。
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“化學機械基板研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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